场发射电镜的相关知识

　　场发射电镜采用了肖特基场发射电子(SFE)源。其特点是：探针电流大，容易进行BSE、EDS、WDS、EBSD、CL等分析。电子束噪声较小，<1%。束流稳定度高，优于0.2%/h。适宜于长时间的各种准确分析。对环境、样品要求较低。使用方便、维护简单，且工作稳定。可提供高得多的探测电流来满足使用需要：能量发散于冷场发射(CFE)源类似，但发射电流却高出50多倍；而较大的虚拟源尺寸，可以将振动的敏感性大幅度降低。高亮度的肖特基场发射(SFE)源结合的GEMINI镜筒提供了用于高分辨率的小束斑尺寸，同时具有高的衬度和高的束流。

　　场发射电镜加速电压0.1-30kV，且在0.1kV的加速电压下仍有较高的分辨率。随着电子束能量的降低，像差也随着降低。从而在降至100V时，也有水平的分辨率，在30KV时具有高分辨率。高的电子束能量再加上电子束路径上不存在交叉，降低了电子束电子之间的静电库伦作用，避免了由此而引起的亮度降低以及显微镜的分辨率的限制。尤其是需要低电子束能量时，始终能提供电子束亮度。

　　电磁透镜与静电透镜的组合等效于一个三片型光学透镜组。增大了试样处的入射电子束孔径角，进而提高分辨率；透镜控制系统集成有聚焦控制功能，无论工作距离有多长、所选能量多大、二者的组合方式如何，都能随时选出合理的电子束孔径，即使分辨率极限下，也能提供出色的图像衬度。

　　具有较好的消像差功能，可使电镜更清晰成像。GEMINI透镜中集成有一个单级电子束扫描系统，其位于静电透镜缝隙的前方，降低了横向色差及其它扫面色差。