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GIB精修离子束系统
用于扫描电镜/ 双束电镜的氩离子束方案
TechnoorgLinda精修离子束系统的低能氩离子枪（GIB）适用于表面减薄、其他表面处理后的后处理、清洁以及去除无定形和氧化物表面层。当低能氩离子枪集成到扫描电镜中时，其作用尤为明显。有了集成离子枪，就可以在研究之前对样品进行精修。实现高质量样品的另一个重要应用是在双束SEM/FIB系统中进行FIB样品制备后，对TEM样品进行最终抛光和温和的表面清洁。
可与扫描电镜集成
带波纹管的传输系统可通过连接管安装到扫描电镜上。连接管输出法兰的尺寸与相应的 SEM 端口尺寸相匹配。通过线性传输系统提供的离子源流动性，可实现理想的工作距离（15-30 mm）。
低能量氩离子枪
低能量离子枪的直径和长度均为50mm。氩离子束的能量范围：100eV-2kV。2kV时的最大束流为70µA。离子束为宽束，半最大全宽（FWHM）为 2mm。
半管支架
低能量离子枪安装在半管支架中。
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